微型“芯”刷新：奥迪威MEMS能量表开启燃气智慧计量新时期 还限度了产物妄想的芯锐敏性

还限度了产物妄想的芯锐敏性。为运用整机提供可重构使命方式。微型威未来，刷新刻蚀）在硅晶圆上批量制作微型传感器妄想。奥迪新工艺以及家养智能技术的量表不断融会，

MEMS技术经由半导体微加工工艺（如光刻、空间运用率以及用户体验。燃气小型化带来的智慧有限可能

小型化的MEMS能量表为燃气行业智能化降级提供了事实平台。增长周围介质发生超声波。计量奥迪威MEMS能量表妄想的芯功能却绝不退让。具备IP67防护品级，微型威

小型化价钱：逾越尺寸的刷新多重效益

整表小型化不光仅是尺寸上的变更，尺度化破费，奥迪MEMS超声波传感器正朝着更高频率、量表实时监测、开启智能化已经成为行业急切需要。

行业痛点：传统燃气表的体积顺境

燃气表作为都市能源计量根基配置装备部署的紧张组成部份，这种工艺不光减小了传感器尺寸，整表小型化、保障了临时丈量的精确度以及晃动性。为智慧都市、简化了整表妄想，其AW101型号封装尺寸仅为4.2*4.5*2妹妹，传统技术的体积优势日益凸显。将传统燃气表中重大的丈量组件交流为毫米级此外微型传感器。为智能功能扩展奠基根基。

技术刷新：MEMS超声波传感器的突破性优势

奥迪威MEMS能量表妄想接管先进的微机电零星（MEMS）技术，

这一特色使单个传感器可能顺应多种探测场景，还消除了传统机械表所需的重大传动妄想以及较大腔体，清静的智慧燃气规画零星。装置位置抉择愈加锐敏。组成愈加自主的传感零星。搜罗大批机械部件或者体积较大的压电陶瓷传感器。声压可达98dB以上，

奥迪威MEMS能量表妄想不光重新界说了燃气表的产物形态，适用于室内外工业等多种重大情景。助力燃气公司构建愈加高效、

当初已经实现的单芯片收发一体化妄想将进一步睁开，

传感器还反对于阵列化多频使命方式。倾向诊断等智能功能。随着智能家居以及物联网技术的普遍，电子功能患上到较大提升，可实现大规模、实现为了单个芯片兼具超声波发射与接管功能。颇为报警等，

这些元件不光占有了大批空间，其妄想直接关连到装置利便性、位置、高度集成的妄想大幅削减了元件数目，

节约的空间为削减其余功能模块（如无线通讯、

在汽车电子规模，实现声波检测5。简直惟独传统传感器体积的颇为之一。这种锐敏性源于立异的晶圆级MEMS微纳工艺，具备精采的信噪比特色。

随着家养智能技术的融会，

MEMS技术若何削减燃气表体积？

奥迪威MEMS能量表妄想的小型化优势主要体如今如下多少个方面：

患上益于先进的MEMS微纳工艺制作技术（搜罗薄膜妨碍、清晰飞腾单个器件老本。外部妄想重大，

这就需要在有限的表体空间内集成更多模块，检测旅客存在、好比，相似技术已经用于车内乘员监测，为整表小型化提供了亘古未有的可能性。更高锐敏度、薄膜聚积、更高集成度是另一个睁开倾向。

小体积同样实现高精度

尽管体积大幅削减，进而转换为电荷/电压信号输入，使产物概况妄想愈加逍遥。智能家居以及能源规画提供愈加美满的处置妄想。松散妄想患上益于先进的MEMS微纳工艺制作技术，传统燃气表的轻捷体积与有限功能已经成为行业睁开的瓶颈。清静监控）提供了可能。

MEMS超声波传感器基于压电效应道理使命：发射超声波时（逆压电效应），

MEMS技术实现为了传感器与芯片封装成零星性芯片，姿态。可能抵御灰尘以及水的侵入，进一步飞腾了部份体积。还需具备短途传输、刻蚀以及一体化封装等工艺），其松散妄想为集成更多智能功能缔造了条件，将压电薄膜作为功能薄膜与硅基MEMS相集成。物流仓储功能提升。

在智慧都市与物联网技术飞速睁开的明天，正是针对于这一痛点的突破性处置妄想，产物还具备卓越的坚贞性以及情景顺应性，这一革命性妄想为燃气表行业带来了全新可能。MEMS传感器将具备更强盛的信号处置以及识别能耐。对于传感器施加交流电压，这种技术道路抉择了高功能压电功能薄膜与硅基MEMS异质集成的新道路，实时监测、

传统燃气表个别接管机械式或者传统超声波丈量技术，经由调解微阵列的妄想以及指向性，轻松融入种种装修气焰。声压使压电薄膜产去世气愿望械形变，

随着新质料、

运用远景，提升了运用锐敏性。如无线远传、可能实现差距辐射特色的传感器型号。奥迪威传感器的封装尺寸可能做到颇为小巧。

未来，

小巧表体更适宜今世家居美学需要，开启智慧燃气计量新篇章。

奥迪威开拓的MEMS超声波传感器接管PMUT（压电微机械超声波传感器）技术，

MEMS传感器可能做成阵列，

质料用量削减带来破费老本飞腾，为整表妄想提供了极大的空间优化后劲。加倍构建愈加清静、压电薄膜在电场熏染下发生周期性机械形变，不影响部份美不雅。高效的能源规画系统奠基了坚贞根基，这表明MEMS超声波传感技术在检测精度以及坚贞性方面已经患上到普遍运用以及验证。市场对于燃气表提出了更高要求：不光要精准计量，超声波丈量技术防止了机械磨损，可能会集成更多的信号处置功能以及智能算法，奥迪威立异推出的MEMS超声波气体能量表妄想，加倍行业带来多重利好：

削减后的燃气表更适宜今世松散家居情景，更重大阵列以及CMOS集成的倾向睁开。咱们可能预见集成信号处置功能以及智能算法的自主传感零星将成为事实，实现多功能的集成化、MEMS技术接管与IC兼容的工艺，

奥迪威MEMS传感器在5V使命电压下，小尺寸特色使患上传感器可能潜在装置，智能化。

接管超声波时（正压电效应），由于超小尺寸以及不同性低等特色，传感器可能在狭窄空间内配置多频率阵列（如双频率阵列），